旋片式真空泵的維護(hù):
檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動(dòng)現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵,試看真空泵是否靈活。真空泵長期停用,需將泵全部拆開,擦干水分,將轉(zhuǎn)動(dòng)部位及結(jié)合處涂以油脂裝好,妥善保管。擰下真空泵泵體的引水螺塞,灌注引水(或引漿)。關(guān)好出水管路的閘閥和出口壓力表及進(jìn)口真空表。點(diǎn)動(dòng)電機(jī),試看電機(jī)轉(zhuǎn)向是否正確。開動(dòng)電機(jī),當(dāng)真空泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)后,打開出口壓力表和進(jìn)口真空泵,視其顯示出適當(dāng)壓力后,逐漸打開閘閥,同時(shí)檢查電機(jī)負(fù)荷情況。
由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對泵有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
旋片式真空泵:轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近,在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)(或兩個(gè)以上)旋片,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動(dòng)且與泵殼內(nèi)壁始終接觸,此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn),可將泵腔分成幾個(gè)可變?nèi)莘e。
水環(huán)式真空泵:帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi),當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí),把液體(通常為水或油)拋向泵殼內(nèi)形成泵殼同心的環(huán)液,環(huán)液同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期性變化的幾個(gè)小容積,故亦稱旋轉(zhuǎn)變?nèi)?a target="_blank" href="/">真空泵。