在旋片真空泵的構(gòu)造方面，為了能在停泵時避免返油，有的設(shè)有能自動切斷油路的止回閥，有的設(shè)有進氣通道截止閥，有的為了能在泵開氣鎮(zhèn)運轉(zhuǎn)忽然停電時自動切斷氣路來堅持泵口處于真空形態(tài)而設(shè)有油泵和控制構(gòu)造。在附件方面，有消霧器，氣息過濾器，阻撓碎玻璃等雜物用的人口過濾器，灰塵過濾器，氣水分離器，有控制泵溫以進步水蒸氣抽除率和維護泵的溫控水量調(diào)理閥。
旋片式真空泵，它有公平地裝在定子腔內(nèi)的轉(zhuǎn)子及轉(zhuǎn)子槽內(nèi)的兩個或數(shù)個旋片，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)外表或相切或相交，轉(zhuǎn)子帶動旋片旋轉(zhuǎn)時，旋片借向心力（有的還有彈簧力）緊貼缸壁，把進排氣口聯(lián)系開來，并使進氣腔容器周期性擴展而吸氣，排氣腔容積則周期性地減少而緊縮氣體，借氣體和油的壓力推開排氣閥排氣，從而取得真空。雙級泵由二個單級串聯(lián)而成，進氣壓力高時，普通大中型泵，二級可同時排氣，進氣壓力低時，氣體由初級排入低級，然后再排出泵外。
由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對泵有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
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