將一個(gè)密閉容器,接上真空泵,對(duì)它進(jìn)行持續(xù)抽氣,然后密閉容器內(nèi)的氣體壓力就會(huì)低于大氣壓,達(dá)到負(fù)壓狀態(tài)。不但如此,經(jīng)過特殊的技術(shù)改進(jìn),除了單抽氣的真空泵外,還可以形成抽氣打氣兩用的微型真空泵(即排氣端可以產(chǎn)生比較大的正壓),用于增壓、充氣、克服系統(tǒng)阻力等等以及非常獨(dú)特的水氣兩用微型真空泵,它可以用于需要長(zhǎng)期空轉(zhuǎn)、干轉(zhuǎn)等等場(chǎng)合。
在旋片真空泵的構(gòu)造方面,為了能在停泵時(shí)避免返油,有的設(shè)有能自動(dòng)切斷油路的止回閥,有的設(shè)有進(jìn)氣通道截止閥,有的為了能在泵開氣鎮(zhèn)運(yùn)轉(zhuǎn)忽然停電時(shí)自動(dòng)切斷氣路來堅(jiān)持泵口處于真空形態(tài)而設(shè)有油泵和控制構(gòu)造。在附件方面,有消霧器,氣息過濾器,阻撓碎玻璃等雜物用的人口過濾器,灰塵過濾器,氣水分離器,有控制泵溫以進(jìn)步水蒸氣抽除率和維護(hù)泵的溫控水量調(diào)理閥。
由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)泵有一定的抽速,兩者組合起來,便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來使用。